Puslaidininkių pramonė iš komponentinių medžiagų reikalauja itin didelės švaros, atsparumo korozijai ir stabilumo, o keraminiai konstrukciniai komponentai puikiai atitinka šiuos reikalavimus, todėl yra pagrindinė puslaidininkinės įrangos sudedamoji dalis.
Plokščių gamybos metu įrangos vidinė aplinka dažnai būna aukšta temperatūra, didelis vakuumas ir stipri korozija. Tradicinės metalinės medžiagos lengvai rūdija arba išskiria nešvarumus, o keraminiai konstrukciniai komponentai pasižymi puikiu cheminiu stabilumu ir mažomis dalelių išsiskyrimo savybėmis, todėl efektyviai užtikrina švarią gamybos aplinką.
Įprastos puslaidininkinės keraminės dalys yra keraminiai griebtuvai, keraminiai šildytuvai, izoliaciniai žiedai, purkštukai ir kreipiamieji komponentai. Tarp jų elektrostatiniai griebtuvai naudoja puikias keraminių medžiagų izoliacines savybes plokštelėms pritvirtinti ir yra vienas iš pagrindinių puslaidininkinės įrangos komponentų.
Kadangi lustų gamybos procesai ir toliau tobulėja, įrangai keliami tikslumo reikalavimai tampa vis griežtesni. Pažangios keraminės medžiagos, pasižyminčios savo matmenų stabilumu ir atsparumu plazmos korozijai, vaidins dar svarbesnį vaidmenį būsimoje puslaidininkių pramonėje.
